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一、 大宗氣體供應系統
· 大宗氣體的生產、純化、儲運、按設計所需壓力、純度、溫度、流量的輸送至客戶的使用點(POU, Point of Use)。鼎富追求高可靠性與高穩定性的工程。嚴格執行施工規范。
二、特殊氣體供應系統
· 工藝制程中會使用到易燃易爆/有毒有害/腐蝕性等各類特種氣體;特氣系統就是把以上各種特種氣體安全的、穩定的、以滿足工藝制程要求的壓力和流量等供應至工藝設備;
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